静電チャック用電源とは
静電気を用いて半導体ウエハーなどを吸着・剥離用に使用される、高圧電源です。
空気の力で吸引するバキューム（真空）チャックと異なり、内部電極に電圧を印加することで発生する
静電気の力で、対象を吸い着けることができます。
この静電チャック用電源は、いまや半導体プロセスにおいて欠かせない存在となり、
半導体製造装置や各種パネル製造ラインなどで利用されています。
電気的仕様はもちろん、形状、制御方法など装置に則したものが要求されます。
中部R&D株式会社では、仕様書に即したものを製造しております。
静電チャックは様々なところで活用されています。主に、以下の用途で使用されています。
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半導体
・ドライエッチング
・CVDプロセス
・ウエハー固定 -
搬送用
・半導体ウエハー
・金属・フィルム部材
・薄物基材の保持 -
フラットパネル
・液晶、有機EL
・液晶ODF装置
・真空貼り合わせ装置
中部R&Dがこれまでに製作した、静電チャック用電源の一部をご紹介いたします。
